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  半导体真空泵荏原是新型的绿色真空泵荏原,可以处理含可凝性蒸汽的气体、含微小颗粒但不会残留在泵内的气体,存在易损件少,真空度高,抽速大,使用寿命长等特色,首要用于医药、大领域集成电路出产规模,市场需要量大。此前,我国应用的半导体真空泵荏原始终依靠进口 磁力泵 ,国际上仅有美国、日本、德国、英国、韩国五个国家可能出产。

  半导体真空泵荏原是技术含量十分高的科技产品, 首要应用于高纯净的真空工艺过程 , 而且可到达极高的真空度;特别适合于电子,化工和生物医药等工业领域。相对与其它类型的干式泵,半导体真空泵荏原具有更高的效率和更低的能耗。

  半导体真空泵荏原在制药、化工、镀膜、半导体等职业具有很强的应用性功能特色1、作业腔内无任何介质,可获得清洁真空。

  2、作业腔及螺杆转子外表有防腐涂层,可习惯恶劣工况 。

  3、气在泵内无压缩,适合抽取可凝性气4、单台泵可从大气抽至1Pa,真空体系可大大简化。

  5、水温对真空影响小,节水达90%以上,甚至可以不耗水。

  6、不耗油,无滴漏。

  7、旋转部件间无摩擦,可高速工作,整机体积小。

  8、结构简单,保护方便。

  9、被抽气直接排出泵体,不污染水,无环保压力,气回收更快捷。

  10、可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。